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半导体公司,称其原材料供应出现中断。据悉,这些六氟化钨供应商将利用现有钨库存维持供应至5月或6月,但无法保证下半年的供应。 在半导体制造领域,六氟化钨主要作为关键钨源,广泛应用于化学气相沉积(CVD)工艺。依托钨金属所具有的优异导电性、热稳定性和高深宽比孔洞填充能力,六氟化钨能够在硅晶圆表面沉积形成致密、均匀的钨薄膜。该薄膜用于构建芯片内部电路互联结构,承担电信号传输功能,成为高集成度芯片制造中
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发布时间:01:41:38
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